* 1931: Ernst Ruska og Max Knoll, der arbejdede på University of Berlin, byggede det første elektronmikroskop.
* 1933: Ruska byggede det første elektronmikroskop, der var i stand til at løse genstande, der er mindre end bølgelængden af synligt lys.
* 1939: Det første kommercielle elektronmikroskop blev bygget.
Udviklingen af elektronmikroskopet var et vigtigt gennembrud i mikroskopi, hvilket gjorde det muligt for forskere at se genstande i en meget højere opløsning end med lysmikroskoper.