Videnskab
 science >> Videnskab >  >> Fysik

Hybrid multi-chip samling af optiske kommunikationsmotorer via 3-D nanolitografi

Koncept og implementering af hybrid multi-chip moduler (MCM'er) ved 3D nano-print af fotoniske wire bonds (PWB'er). (a) Illustration af en otte-kanals sender, realiseret som en hybrid MCM omfattende 3D-printede PWB'er vist med rødt. PWB'er tillader effektive forbindelser mellem fotoniske integrerede kredsløb (PIC'er), der er realiseret på forskellige integrationsplatforme, derved kombinerer det underliggende materialesystems komplementære styrker. Den illustrerede sender kombinerer effektive InP-lasere med elektrooptiske modulatorer på en fotonisk siliciumchip. Modulator-arrayet er elektrisk drevet via en RF-fan-in og forbundet til et array af single-mode fibre. (b) Grænseflade mellem en InP laserchip og den fotoniske siliciumtransmitterchip. Lyskilden er realiseret som en horisontal hulrumsoverfladeemitterende laser (HCSEL), bestående af et bølgelederbaseret optisk hulrum i substratplanet og et ætset 45° spejl, der omdirigerer lyset mod substratnormalretningen17. (c) Fiber-til-chip-grænseflade. For effektiv kobling til det store mode-felt af SMF, PWB'erne er designet til at have et større tværsnit mod fiberfacetten. PWB'ernes 3D friformsbane er tilpasset den nøjagtige position af de tilsvarende grænseflader og erstatter derved højpræcision aktiv justering af chipsene. Kredit:Light:Science &Applications, doi:10.1038/s41377-020-0272-5

Tredimensionel (3-D) nanoprint af friformede optiske bølgeledere, også kendt som fotonisk trådbinding, kan effektivt kobles mellem fotoniske chips for i høj grad at forenkle optisk systemsamling. Formen og banen af ​​fotoniske trådbindinger giver en vigtig fordel som et alternativ til konventionelle optiske samlingsteknikker, der er afhængige af teknisk kompleks og kostbar højpræcisionsjustering. I en ny undersøgelse, der nu er offentliggjort på Natur:Lys, Videnskab og applikationer , Matthias Blaicher, Muhammed Rodlin Billah og et forskerhold i fotonik, kvanteelektronik og mikrostruktur teknologi i Tyskland, demonstrerede optiske kommunikationsmotorer. Enheden var afhængig af fotonisk trådbinding til at forbinde arrays af fotoniske siliciummodulatorer til lasere og single-mode fibre. De konstruerede de fotoniske trådbindinger på chipsene i laboratoriet ved hjælp af avanceret 3-D litografi til effektivt at forbinde en række fotoniske integrationsplatforme. Forskerne forenklede samlingen af ​​avancerede fotoniske flertrinsmoduler for at transformere en række applikationer lige fra højhastighedskommunikation til ultrahurtig signalbehandling, optisk sansning, og kvanteinformationsbehandling.

Fotonisk integration er en vigtig metode til at transformere en række kvanteteknologier. De fleste kommercielle produkter på området er afhængige af den diskrete samling af fotoniske chips, der kræver koblingselementer, såsom on-chip-adaptere og omfangsrige mikrolinser, eller omdirigering af spejle. Samling af sådanne systemer kræver teknisk kompleks aktiv justering, til løbende at overvåge koblingseffektiviteten under udviklingen af ​​enheden. Sådanne teknikker er klassificeret som høje omkostninger og lav gennemløbsmetoder, og som et resultat sætter de alle fordele ved masseproduktion i waferskala af fotoniske integrerede kredsløb (PIC) tilbage. I dette studie, Blaicher et al. kombinerede konventionelle systemers ydeevne og fleksibilitet med kompaktheden og skalerbarheden til monolitisk integration ved hjælp af avancerede additive nanofabrikationsteknikker. At konstruere friformede polymerbølgeledere på fotoniske enheder, holdet stolede på direkte-skriv-to-foton-litografi. Metoden er også kendt som fotonisk wire bonding for at tillade højeffektiv optisk kobling i en fuldautomatisk proces.

Skalerbarhed og stabilitet af fotoniske trådbindinger. (a) Mikrograf af et felt med tæt adskilte PWB-broer på chip, der forbinder ned-tilspidsede ender af SiP-bølgeledere. PWB er dækket med en beskyttende lavindeksbeklædning. Prøven har været udsat for temperatur 500 cyklusser på -40°C/+85°C foruden 500 timers fugtig varmetest ved +85°C og 85% relativ luftfugtighed. Der blev ikke observeret nogen ændring i transmissionen eller fysiske ændringer såsom delaminering af beklædningsmaterialet fra SiP-chippen. (b) Langsigtet fugtvarmetest af PWB ved 85 ° C og 85 % relativ luftfugtighed. I denne prøve, det gennemsnitlige indsættelsestab udgør cirka 2 dB - lidt højere end i det, der er vist i fig. 2 i hovedmanuskriptet. Dette tab forbliver stabilt over hele 3500 timer med fugt-varme-tests. Kredit:Light:Science &Applications, doi:10.1038/s41377-020-0272-5

Under forsøgene Blaicher et al. konstrueret 100 tætte mellemrum fotoniske trådbindinger (PWB'er). De eksperimentelle resultater dannede grundlag for den forenklede samling af avancerede fotoniske multi-chipsystemer. Det eksperimentelle modul indeholdt flere fotoniske dyser baseret på forskellige materialesystemer, herunder indiumphosphid (InP) eller silicium-på-isolator (SOI). De eksperimentelle trin til montering krævede ikke højpræcisionsjustering, og forskerne opnåede chip-til-chip og fiber-til-chip-forbindelser ved hjælp af 3-D friformede fotoniske trådbindinger. Før fremstilling af PWB'er, Blaicher et al. detekterede on-chip justering markører ved hjælp af 3-D billeddannelse og computer vision teknikker. Derefter, de brugte to-foton litografi til at fremstille PWB'erne, tillader opløsning på sub-mikron skala. Holdet placerede optiske clips side om side i opsætningen for at forhindre termiske flaskehalse for effektiv termisk forbindelse. Hybrid multichip modul (MCM) var afhængig af effektive forbindelser af silicium foton (SiP) chip til InP lyskilden og til output transmission fiber. Holdet realiserede lyskilderne som horisontale hulrumsoverfladeemitterende lasere (HCSEL'er), og da de kombinerede PWB'erne med mikrolinser, de kunne lette optiske forbindelser uden for planet til chipoverfladen.

Automatiseret fremstilling og miljøstabilitet. (a) Array af tæt anbragte PWB-teststrukturer på chip. Scanning elektronmikroskop (SEM) billedet afbilder en delmængde af et array af 100 PWB'er realiseret på en dedikeret en silicium fotonisk (SiP) testchip. PWB-broerne forbinder tilspidsede ender af SiP-strimmelbølgeledere, adskilt med 100 µm. 3D-billeddannelse i høj opløsning i kombination med computersyn bruges til automatiseret detektering af den optiske kobling med høj præcision (bedre end 100 nm) og muliggør en meget reproducerbar litografisk definition af friformsstrukturerne. Bølgelederne er endelig indlejret i en UV-hærdbar lavindekspolymer (ikke vist), som fungerer som en beskyttende beklædning og tillader justering af brydningsindekskontrasten. (b) Histogram, der viser målte indsættelsestab for 100 PWB-broer på chip direkte efter fremstilling (blå) såvel som efter temperaturcyklustest, omfattende 120 (orange) og 225 (grønne) cyklusser. Den angivne transmission omfatter udbredelsestabet i friformspolymerbølgelederen af ​​PWB'erne såvel som det samlede tab af begge dobbeltkoniske grænseflader til de tilstødende SiP-strimmelbølgeledere. Efter fremstilling, PWB-broerne udviser et gennemsnitligt indføringstab på 0,73 dB og en standardafvigelse på 0,15 dB, og tabet af den værste struktur var 1,2 dB. Disse tal er i det væsentlige upåvirket af temperaturcyklusserne. De lidt forskellige former på histogrammerne tilskrives det faktum, at prøverne skulle fjernes fra måleopsætningen for temperaturcyklus, fører til små ændringer i fiber-chip-koblingseffektiviteten. Kredit:Light:Science &Applications, doi:10.1038/s41377-020-0272-5

I det første forsøg, ved hjælp af testchips fremstillet via dyb-UV-litografi, holdet viste, at PWB'er leverede optiske forbindelser med lavt tab. Hver testchip indeholdt 100 teststrukturer for at adskille PWB-tabet fra fiber-chip-koblingstab. Laboratoriets fremstilling af PWB var fuldt automatiseret, tager cirka 30 sekunder pr. forbindelse, og processen kan fremskyndes yderligere. Holdet opnåede sammenlignelige resultater ved at replikere eksperimenterne på andre testchips for klart at demonstrere processens fremragende reproducerbarhed. Forskerne udsatte derefter prøven for flere temperaturcyklusser varierende fra -40 °C til 85 °C for at bevise pålideligheden af ​​strukturerne under teknisk relevante miljøforhold. Prøverne undergik ikke ydeevneforringelse eller deformation under eksperimenterne. For at forstå PWB-strukturernes højeffekthåndteringsevne, de udsatte prøverne for kontinuerlig laserbestråling ved 1550 nm, med stigende optiske effektniveauer. Eksperimenterne viste muligheden for at bruge PWB'er til høj ydeevne i industrielt relevante miljøer og under realistiske effektniveauer.

Otte-kanals multi-chip transmitter (Tx) modul, der kombinerer InP laser arrays og SiP modulator arrays. Modulet er gearet til transmission i datacenter- og campus-netværk med maksimale afstande på 10 km, ved hjælp af simpel intensitetsmodulation og direkte detektionsteknikker. (a) Lys-mikroskopbillede af Tx-samlingen realiseret i overensstemmelse med det eksperimentelle koncept. Arrayet af Mach-Zehnder-modulatorer (MZM'er) er forbundet til et array InP-baseret HCSEL ("Laser-array") og til et array af single-mode fibre af PWB'er (ikke synlig her). Affyringskræfterne, målt i single-mode fiber for maksimal transmission af modulatorerne, er tilstrækkelige til transmission over afstande, der er typiske for datacenter- og campusnetværk, uden behov for optiske forstærkere. Variationer i lanceringseffekten tilskrives hovedsageligt ikke-ideel kobling til og fra SiP-chippen. Kanal 6* indeholder en ekstra on-chip 3 dB splitter til test, hvilket fører til yderligere tab. (b) Eksperimentel opsætning til transmissionsdemonstrationer ved brug af forskellige modulationsformater og afstande. En arbitrær-bølgeformgenerator (AWG) bruges til at drive MZM'erne. I demonstrationen, modulatorerne drives sekventielt via en RF -sonde, der leverer drivsignalet ved indgangen og en anden RF -sonde for at tilvejebringe en 50 Ω -afslutning ved udgangen. Det optiske signal sendes gennem op til 10 km standard SMF og detekteres med en fotomodtager, der indeholder en fotodetektor sammen med en højhastigheds transimpedansforstærker. Et oscilloskop i realtid bruges til at fange de elektriske signaler til efterfølgende offline behandling. (c) Øjediagrammer til transmission over forskellige afstande, med forskellige modulationsformater og symbolhastigheder. Som forventet fra lanceringsbeføjelserne, Kanal 8 viser de mest åbne øjne, hvorimod kanal 6 er forvrænget af støj. d Estimerede bitfejlforhold (BER) for transmission over forskellige afstande, med forskellige moduleringsformater og symbolhastigheder. For alle eksperimenter, BER forbliver under tærsklen på 7 % HD-FEC. Den samlede modullinjefrekvens udgør en 448 Gbit/s. Kredit:Light:Science &Applications, doi:10.1038/s41377-020-0272-5

For derefter at demonstrere den tekniske gennemførlighed af PWB-tilgangen, Blaicher et al. realiseret en funktionel otte-kanals fotonisk multi-chip transmitter (Tx) motor, der kombinerede InP-baserede laser arrays og SiP (silicium photonic chip) modulator arrays for at modulere intensiteten. Den komplette samling indeholdt to arrays af fire vandrette hulrumsoverfladeemitterende lasere, forbundet via PWB'er til en række Mach Zehnder-modulationer af rejsebølgeudtømningstypen. Demonstrationen var et proof-of-princip, giver plads til optimering.

Under den anden række af eksperimenter, holdet dannede et fire-kanals multi-trins sendermodul til sammenhængende kommunikation. I dette modul, de kombinerede hybrid multi-chip integration indeholdende PWB'er med hybrid on-chip integration af elektro-optiske modulatorer, at kombinere SiP nanowire bølgeledere med højeffektive elektro-optiske materialer. Opsætningen resulterede i yderst effektive enheder med lavt strømforbrug.

Fire-kanals sammenhængende transmittermodul, der kombinerer hybridintegrationskoncepter på chip- og pakkeniveauer. (a) Kunstnerens indtryk af multi-chip-modulet (MCM) bestående af fire InP-baserede HCSEL-lyskilder, en række af fire silicium-organisk hybrid (SOH) modulatorer, og fire transmissionsfibre, alle forbundet med fotoniske trådbindinger (PWB'er). Det samlede fodaftryk for det komplette Tx-modul er 4 × 1,5 mm2. (b) Set fra oven og tværsnit af en SOH Mach-Zehnder modulator (MZM). Det organiske elektrooptiske (EO) materiale (rød kontur) udleveres efter fremstilling af PWB. MZM består af to slot-waveguide (WG) fasemodulatorer, drevet i push-pull-tilstand af en enkelt koplanar transmissionslinje i jord-signal-jord (GSG) konfiguration. Inden i slot-bølgeleder faseskifterne, den dominerende elektriske komponent i den optiske kvasi-TE-tilstand udviser et stærkt overlap med det elektriske RF-tilstandsfelt, hvilket resulterer i en høj gradueringseffektivitet32. (c) Eksperimentel opsætning. Hver HCSEL føder en IQ-modulator. Elektriske drivsignaler til modulatorerne leveres af en vilkårlig bølgeformgenerator (AWG). Det optiske signal forstærkes derefter, sendt gennem 75 km standard SMF, og detekteret af en sammenhængende modtager. Et oscilloskop i realtid fanger signalet til efterfølgende offline behandling. (d) Konstellationsdiagrammer og tilhørende målte bitfejlforhold (BER'er) til signalering med 16QAM ved symbolhastigheder på 28 GBd og 56 GBd. Ydeevnen på Channel 1 blev forringet af lavere lanceringseffekt, så kun QPSK -transmission kunne bruges. Alle BER-værdier forbliver under tærsklen for hård beslutning om fremadrettet fejlkorrektion FEC med 7% kodning overhead. Den samlede modullinjehastighed er 784 Gbit/s. Kredit:Light:Science &Applications, doi:10.1038/s41377-020-0272-5

På denne måde Matthias Blaicher, Muhammed Rodlin Billah and colleagues conducted 3-D nanofabrication of photonic wire bonds (PWBs) to overcome the existing limits of hybrid photonic integration approaches. The team demonstrated the viability of the experimental setup using two key protocols to realize two different hybrid multi-chip transmitter engines. While the team focused on transmitter modules for high speed optical communication during this work, the technology may unlock a wide range of novel applications that benefit from the advantages of hybrid photonic integration.

© 2020 Science X Network