Videnskab
 Science >> Videnskab >  >> Fysik

Dynamisk z-scanning til ultrahurtig autofokusering i laserbehandling

Illustration af arbejdsprincippet for dynamisk z-scanning til autofokusering. Dynamisk stråleformning opnås af et enkelt TAG-objektiv, der arbejder ved 140-380 kHz i en opsætning med dobbelt strålevej (sonderingsstråle i grønt og fremstillingsstråle i rød). Den første laser bruges til at spore overfladens præcise position, mens systemet scanner. Den anden laser er synkroniseret med TAG-objektivet, således at en ønsket fokusposition opnås på overfladen. Kredit:af Xiaohan Du, Camilo Florian, Craig B. Arnold

I laserbaseret fremstilling har det traditionelt været arbejdskrævende at rumme ikke-flade eller skiftende overflader, hvilket involverer komplekse fokuskortlægningsprocedurer og eller ex-situ karakterisering. Dette resulterer ofte i omplaceringsfejl og forlængede behandlingstider.



For at løse disse problemer er der udviklet ultra-højhastigheds autofokusering i laserbehandling. Hvorimod de fleste autofokusteknikker stadig kræver den mekaniske bevægelse af en motoriseret scene. Denne mekaniske bevægelse i stråleudbredelsesaksen kan være betydeligt langsommere end sidehastigheden, hvilket bremser processen med overfladedetektering og genjustering. Desuden kræver det feedback-, kontrol- og sensingmetoder for at bestemme den optiske brændpunktsposition.

I et nyt papir offentliggjort i Light:Science &Applications , udviklede et team af forskere, ledet af professor Craig B. Arnold fra Department of Mechanical and Aerospace Engineering ved Princeton University, U.S., en hurtig metode til samtidig at spore den specifikke placering af en overflade og justere fokus for et optisk system. De brugte aksial varifokal optik, specifikt en TAG-linse, som fungerer ved 0,1-1 MHz, og omgår forsinkelser fra den mekaniske bevægelse i strålens udbredelsesretning.

Holdet brugte innovativt dynamisk z-scanning til både detektion og bevægelse samtidigt uden nogen mekanisk aksial bevægelse. Tiden mellem overfladedetektering, genfinding af fokus og affyring af fabrikationslaserimpulsen er teoretisk inden for to perioder med z-scanning, eller flere mikrosekunder, betydeligt hurtigere end noget mekanisk baseret refokuseringssystem kombineret med sekundære overfladepositionsfølende elementer.

Holdet forklarede det operationelle princip for deres autofokusmetode:"Vi integrerede en enkelt varifokal linse i en dobbelt laserstråleopsætning, bestående af en sonderingsstråle og en fremstillingsstråle. Sondestrålen scanner kontinuerligt langs z-aksen, og den tidsmæssige reaktion af dens refleksion er relateret til overfladens placering."

"Samtidigt leder vi fabrikationsstrålen til den ønskede position ved at udløse fabrikationslaseren på det passende tidspunkt. Denne fremgangsmåde reducerer defokuserede laserimpulser og øger behandlingshastigheden ved behandling af ikke-flade eller skiftende prøver."

Den venstre figur viser overfladepositionen under realtids autofokus lasermarkering af en to-trins overflade lavet ved at klæbe tre stykker silicium wafers. De tre overflader er mærket med A, B og C. Den højre figur viser 3D-mikroskopi af to-trins-overfladen, hvor linjen i midten viser den ensartede lasermarkering på den trinformede overflade. Sammenlignet med konventionel behandling med fast fokus reducerer den dynamiske z-scanning autofokuseringstilgang defokuserede laserimpulser og øger behandlingshastigheden ved behandling af ikke-flade eller varierende overflader. Kredit:af Xiaohan Du, Camilo Florian, Craig B. Arnold

Forskerne fremhævede også potentialet i denne teknik til autofokusering med et laboratoriefremstillet realtidsdetektions- og fokuseringssystem, designet til øjeblikkeligt at følge overfladetopografien uden nogen mekanisk bevægelse i z-retningen.

"Denne nye løsning til aksial fokusjustering åbner nye muligheder for materialebehandling af ikke-flade og variable overflader ved høje hastigheder. Vi tror på, at skiftet fra mekanisk bevægelse af optiske elementer til dynamisk stråleformning af lys vil blive ved med at inspirere til mere spændende applikationer inden for optisk metrologi. og 3D-laserfremstilling."

Flere oplysninger: Xiaohan Du et al., Single-linse dynamisk z-scanning til samtidig in situ positionsdetektion og laserbehandling fokuskontrol, Light:Science &Applications (2023). DOI:10.1038/s41377-023-01303-2

Journaloplysninger: Lys:Videnskab og applikationer

Leveret af Chinese Academy of Sciences




Varme artikler