Ilt erstattes primært gennem fotosynteseprocessen, hvor planter bruger energien fra solen til at omdanne kuldioxid og vand til ilt og glukose. Denne proces sker i kloroplasterne i planteceller, hvor klorofylpigmenter fanger lysenergi. Lysenergien bruges til at spalte vandmolekyler og frigive ilt som et biprodukt. Den ilt, der produceres af planter, frigives derefter til atmosfæren gennem deres stomata, små porer på bladene.