1. Oxidation:
* reaktion: Silicium (Si) + ilt (O2) → Siliciumdioxid (SiO2)
* proces: Denne reaktion danner et beskyttende lag af siliciumdioxid (SiO2), også kendt som silica, på overfladen af siliciumskiven. Dette lag fungerer som en isolator, der forhindrer uønskede elektriske forbindelser og tilvejebringer en stabil overflade til videre behandling.
* Formål: Opretter et barrierelag til efterfølgende trin, definerer mønstre for transistorer og hjælper med doping.
2. Doping:
* reaktion: Silicium (SI) + Dopingmiddel (f.eks. Bor, fosfor, arsen) → Dopet silicium
* proces: Denne proces involverer introduktion af urenheder (dopingmidler) i siliciumkrystallgitteret. Disse urenheder kan enten tilføje ekstra elektroner (doping af N-type) eller skabe "huller" for elektroner at bevæge sig (P-type doping).
* Formål: Dopanter kontrollerer den elektriske ledningsevne af silicium, hvilket muliggør oprettelse af P-N-kryds, som er grundlæggende for transistorer og andre halvlederindretninger.
Dette er kun to eksempler på de mange kemiske reaktioner involveret i fremstilling af siliciumchip. Processen er ekstremt kompleks og involverer mange andre reaktioner som ætsning, afsætning og fotolitografi.