1. Tomgangsdiffusion:I krystallinske faste stoffer kan diffusion forekomme gennem bevægelse af ledige gittersteder, også kendt som ledige pladser. Atomer eller ioner, der støder op til en ledig stilling, kan flytte ind i den ledige stilling, og effektivt "hoppe" til en ny position i gitteret. Denne mekanisme er almindelig i metaller og simple ionkrystaller.
2. Interstitiel diffusion:I faste stoffer med interstitielle steder, som er mellemrum mellem atomer eller ioner i gitteret, kan diffusion ske gennem bevægelse af små atomer eller ioner ind i disse interstitielle steder. Denne mekanisme observeres ofte i legeringer og interstitielle forbindelser.
3. Dislokationsdiffusion:Dislokationer er defekter i krystalgitteret, hvor atomer er forkert justeret. Diffusion langs dislokationer kan være meget hurtigere end diffusion gennem det almindelige gitter, fordi dislokationer giver en vej for atomer til at bevæge sig lettere. Denne mekanisme er særlig vigtig ved plastisk deformation og krybning af faste stoffer.
4. Overfladediffusion:Diffusion kan også forekomme på overfladen af faste stoffer. Overfladeatomer eller -ioner har højere mobilitet på grund af fraværet af begrænsninger fra naboatomer i bulken. Overfladediffusion er ofte involveret i overfladeprocesser såsom krystalvækst, tyndfilmdannelse og sintring.
5. Korngrænsediffusion:I polykrystallinske faste stoffer er korngrænser grænseflader mellem forskellige krystalkorn med forskellige orienteringer. Diffusion langs korngrænser kan forbedres på grund af den strukturelle uorden og højere mobilitet af atomer ved disse grænseflader. Korngrænsediffusion spiller en afgørende rolle i forskellige processer såsom kornvækst, omkrystallisation og fasetransformationer.
Diffusionshastigheden i faste stoffer er typisk påvirket af flere faktorer, herunder temperatur, koncentrationsgradienten af de diffuserende arter, krystalstrukturen og tilstedeværelsen af defekter eller urenheder. Højere temperaturer øger generelt diffusionshastigheden, mens tilstedeværelsen af forhindringer eller komplekse krystalstrukturer kan hindre diffusion.